场发射扫描电子显微镜

规格

项目 JSM-7800F PRIME
放大倍数 ×25~×1,000,000
加速电压 10V~30kV
空间分辨率 0.7nm
探头电流 数个 pA ~ 500nA
倾斜角度 -5~+70°
专用探测器 能量色散 X 射线光谱仪 (EDS)

特性

・可以通过多个探测器同时采集所有信息