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技术
场发射扫描电子显微镜
场发射扫描电子显微镜
规格
项目
JSM-7800F PRIME
放大倍数
×25~×1,000,000
加速电压
10V~30kV
空间分辨率
0.7nm
探头电流
数个 pA ~ 500nA
倾斜角度
-5~+70°
专用探测器
能量色散 X 射线光谱仪 (EDS)
特性
・可以通过多个探测器同时采集所有信息